这一个个问题可不怎么容易解决。</p>
但提前二十年能进行浸润式光刻机方面的研究也不是坏事。</p>
希望清大在这一块能有始有终吧。</p>
浸润式光刻在193纳米深紫外线上还将爆发，因为193纳米深紫外线的折射率高达1.44，入水后波长只有134纳米，比起157纳米深紫光源更加优秀。</p>
兴奋过后的何振华看向张朝新主任，微微点头。</p>
眼神中在说：“你看人家简简单单一句话，为我们解决了一個大问题。”</p>
张朝新也是技术出身，对光刻机光源这块的难度有深刻的体会。</p>
光刻机光源难在光源发生器，一定要高功率的光源，能量不够的不行，其二就是棱镜，需要用棱镜的折射过滤掉其他波长的光线，不光在高精加工，还是材料这一块，难度都是顶级的，需要海量的基础物理研究和实验。</p>
而现在，面前的小伙子简简单单一句话，就开辟了一个新思路。</p>
都是道光线入水之后，波长变短，可谁也没想到用在光刻机上啊！</p>
张朝新笑道：“他山之石，可以攻玉，小赵老师一句话，点醒梦中人啊！”</p>
何振华又聊到铜导线技术。</p>
赵国庆摇摇头：“铜导线工艺跟铝导线工艺完全不同，两者物理性质也大相径庭，我有一些思路，不过还需要经过物理方面的论证！”</p>
“国庆，我们清大微电子有这个条件，你看……”</p>
赵国庆很无奈，清大的功利性太强了，赵国庆感到，清大的目标也就是把1微米或者更短的制程能做出来，但对是否能商用话，并不是太关心。</p><div id='gc1' class='gcontent1'><script type='text/javascript'>try{ggauto();} catch(ex){}</script>